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真空用語集

あ行

油回転真空ポンプ 油を利用してロータ、ステータ、ベーンなどの部品を気密シールして、回転部の動きを滑らかにし、高い排気性能を発揮します。以下は主な特徴です。・安価でコンパクト・据付が容易・10Pa以下の真空が簡単に得られる・大気圧から高真空までをカバーできる。
粗引きポンプ 大気圧からメインポンプが作動可能となる圧力迄の真空系を排気するのに使われる。
アウトガス 真空中で素材から放出されるガスのことを指します。これは、素材に含まれる水分やその他の気体が真空状態で放出される現象です。アウトガスを最小限にするには適切な素材選定や真空ベーキング処理、洗浄などの対策が必要です

か行

拡散ポンプ 高真空を得るために使用される。蒸気圧の高い物質（油や水銀など）を用いて、気体分子を追い出し排気する。高真空環境が必要な実験や産業プロセスでよく使われます。
ガスバラストバルブ（ガスバラ） 油回転真空ポンプやドライ真空ポンプに付属しており、圧縮過程でポンプ内に凝縮した水分を大気またはN2などを導入して追い出す。
コンタミ コンタミとは、コンタミネーション(汚染)の略で真空装置には様々な不具合を生じさせます。わずかな隙間などに酸素や炭素などのガスが材料と反応し、酸化や脱炭につながる可能性があるため、コンタミネーションの低減が重要です。

さ行

真空 日本工業規格では真空とは「通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間の状態」(JIS Z 8261-1)と定義されていて、さらに真空を4つの圧力範囲に分類しています。
  • 低真空:100kPa～100Pa（105Pa～102Pa）
  • 中真空:100Pa～0.1Pa（102Pa～10-1Pa）
  • 高真空:0.1Pa～10μPa（10-1Pa～10-5Pa）
  • 超高真空:10μPa以下（10-5Pa以下）
上記の圧力は絶対真空（※）を0とした時の値です。
また、JISには制定されていませんが、10-9Pa以下の真空を極高真空といい、学術用語としては定着しています。
真空装置 真空状態を持つための装置。真空装置の主な種類は蒸着装置・スパッタ装置・CVD装置・真空乾燥炉・真空加熱炉などがある。
真空装置 真空装置とは、真空状態の持つための装置。
真空タンク 真空吸着、真空乾燥、真空含浸、真空脱泡などのリザーバータンク、バッファタンクとしてご使用いただけます。
真空チャンバー 内部を真空にするための容器です。中の気体が外に漏れることなく気密の高い状態を保ちます。真空装置の要となる容器で、良い真空状態を維持するためには内面の研磨や材質、溶接方法などに注意が必要。
真空バルブ 真空フランジ 真空装置で真空チャンバーと真空ポンプや真空部品を接続するためのシール機能を持った接合するための真空部品。
真空フランジ 真空装置で真空チャンバーと真空ポンプや真空部品を接続するためのシール機能を持った接合するための真空部品。
真空ポンプ 電子光学系、試料室などを真空排気するためのポンプ。低真空用としては油回転ポンプ、高真空用としては油拡散ポンプやターボ分子ポンプ、超高真空用としてはスパッタイオンポンプなどが用いられる。
成形ベローズ 成形ベローズは、「金属ベローズ」「ステンレスベローズ」または「真空ベローズ」など、使用する材料や環境に由来する呼び方をすることがあります。
金属の素材からパイプのローラーに外側のローラーを押し付けて波形を出し、成形する「ロール成形法」と、外側の金型を固定して内側から高圧の液体を加え、膨張と座屈性により成形する液圧成形法、最後にベローズの内側の形状に合わせて作られる特殊材質の成形型に、ニッケル金属を適当な厚さに鍍金後、成形型を薬剤により除去して製造する電鋳ベローズがあります。
絶縁材 真空中で使われる絶縁材にはアルミナ、マシナブルセラミックス、石英、PEEK材などがあります。
サンプルバンク 真空装置内で複数のサンプル基板をストックし、導入機の先端に取り付け真空中での搬送可能です。

た行

超高真空 JIS（Z 8126）では、10 -5Pa以下の真空を超高真空 と定義しています。さらに、10-9Pa以下の真空を極高真空 と呼ぶことがあると付記されています。
ターボ分子ポンプ 高速回転する動翼と静止した固定翼を持つ高真空ポンプです。このポンプは、気体分子を弾き飛ばすことで真空を引き起こします
電流導入端子 真空環境で電流を導入するための部品です。これにより、真空中での電気的接続が可能になります。
多様な接続タイプ：多ピンコネクタ、同軸端子、熱電対端子など、さまざまな接続タイプがあります。
その他、高電圧や大電流に対応できる設計がされています。取り付け方法はICF、JIS、ISO規格に対応しており、多種多様なフランジに取り付け可能です。
真空装置や加速器、レーザー装置など、高真空環境で使用される機器に必須の部品です。
銅ガスケット 真空システムや配管接続に使用される無酸素銅製ガスケットです。特にコンフラットフランジ（ICF）の接続に使われることが多いです。高い真空密閉性能を持っていて高いベーキング温度を可能とします。

な行

粘性流 気体分子の平均自由工程が導管断面の寸法よりも十分に小さい場合に起きる導管内の気体の流れ。
熱電対 真空中でよく利用される温度を計測するための部品。
K, J, T, E, R, S, B,・・・などのアルファベットが、熱電対の種類を表す記号です。日本工業規格(JIS)や国際電気標準会議( IEC)等で規格化されています。

は行

ビューポート（のぞき窓） 真空装置の中を観察するのとＸ線、赤外線などの透過を目的とします。ガラスの材質は合成石英、ホウケイ酸ガラス、サファイア、ベリリウムなど様々な
分子流 気体分子の平均自由工程が導管断面の寸法よりも十分に小さい場合に起きる導管内の気体の流れ。
フランジ フランジとは、配管や装置の接合部をつなぐ部分に使用する部品。ボルト等を使用してガスケット、Oリングなどで気密をもたせる。主な規格はJIS,ISO,NW,ISO-K,などがある。
ヒーター 真空中で使用するヒーターにはカートリッジヒーター、シースヒーター、ハロゲンヒーター、BNヒーターなどがありますが、真空中では、通常の大気中とは異なる熱伝達のメカニズムが働きます。以下は、真空中でのヒーター使用に関するポイントです。真空中では、伝導と対流がほとんど起こらないため、輻射が主な熱伝達手段となります。真空中で使用するためには、ヒーターがアウトガスを出さないように設計されている必要があります。また、ヒーターと温度センサーは真空中での使用に対応したものを使用する必要があります。取付形状は、真空フランジタイプやハーメチックタイプがあります。真空フランジタイプは端子部が真空雰囲気の外に出るタイプで、ハーメチックタイプはヒーター端子部を完全に密封したタイプです。他にはスリーブ取付けタイプもあります。
表面処理 電解研磨、複合電解研磨、化学研磨、ガラスブラスト、バフ研磨などがあります。
ベーキング 真空容器を超高真空状態にするためにはこの手法が用いられます。容器内壁に吸着した水分子を脱離するために真空容器全体を100℃以上で数時間の加熱を行います。通常は150℃ですが時には200℃前後で行うこともあります。

ま行

マスフローコントローラー 真空室に必要なプロセスガスを目的の流量で精密に導入する機器でプロセスには必要不可欠なものです。
メカニカルブースターポンプ 排気速度を補助するために使用します。油回転ポンプやドライポンプを使用してあらかじめ減圧された真空容器にメカニカルブースタポンプを駆動させて排気速度を大きくします。

や行

溶接ベローズ 溶接ベローズは、「金属ベローズ」「ステンレスベローズ」または「真空ベローズ」など、使用する材料や環境に由来する呼び方をすることがあります。
精密に波付プレスされたデスク状の薄肉金属板を、内側と外側交互に溶接することで繋ぎ合わせて製作されています。特徴としては、コンパクトで大きい伸縮長があり、伸縮・バネ特性を自由に設計でき、耐圧・耐熱性と耐久性に優れています。薄肉のため外部からの衝撃などによりリークが起きやすいデメリットもあります。

ら行

リークディテクタ 真空応用機器、空調機器、冷凍機器などで密閉している容器からガスが漏れていないかどうかをチェックすることで品質面を満たしているのかをチェックする装置です。
臨界背圧 油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプなどの真空ポンプが正常に機能するための最大の排気口圧力のことです。この圧力を超えると、ポンプが正常に動作せず、逆流などの問題が発生します。
レアメタル レアメタルは真空中で薄膜として成長させる技術である蒸着に利用されます。他にはリフレクターやシャフト、ボルトといった機械加工部品にも使われます。種類はMo,Ta,W,が主な材料です。

わ行

A〜Z

YAG溶接 YAG溶接とは、イットリウム・アルミニウム・ガーネットという人口結晶のことです。人口結晶により生じた近赤外光を、レンズによって加工点に集中して照射して材料を溶かす溶接法のことです。YAG溶接は、深く狭く溶接することができ、薄板板金でも簡単に溶接が出来るというメリットがあります。
Tig溶接 Tungsten Inert Gas溶接は、Arガスなどを使用した不活性ガス溶接を意味します。放電用電極に消耗しないタングステン、シールドガスにはArガスやHeガスなどの不活性ガスを使用します。不活性ガスの中でアークを発生させ、アーク熱により母材を溶かして溶接します。

数字・記号

Pa（パスカル） 真空の状態は圧力で表わします。 圧力の単位はパスカル(Pa)です。1Pa とは、1平方メートル (m2) の面積あたりに1ニュートン (N) の力が作用したときの圧力となります。

あれこれ

真空用材料 一般的にはSUS304,316L,A5052,C1020,TP340,PEEK,石英など